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64-3200シリーズの超高純度、高流量連結ダイアフラム型減圧レギュレータでは、10 Raマイクロインチ / 0.25マイクロメートルの表面処理が提供され、Hastelloy®トリムで使用できます。最大流量は 31.8 SCFM / 900 SLPMで、入口圧力は150、1000、1500 psig / 10.3、69.0、103 bar、出口圧力は200 psig / 13.8 barです。バルク特殊ガスシステム (BSGS)、1/2" ユースポイント、工具接続部、ガスキャビネットでの使用に理想的です。