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Tescom-P-64-3200

TESCOM™ 64-3200シリーズBSGS圧力レギュレータ

製品概要

64-3200シリーズの超高純度、高流量連結ダイアフラム型減圧レギュレータでは、10 Raマイクロインチ / 0.25マイクロメートルの表面処理が提供され、Hastelloy®トリムで使用できます。最大流量は 31.8 SCFM / 900 SLPMで、入口圧力は150、1000、1500 psig / 10.3、69.0、103 bar、出口圧力は200 psig / 13.8 barです。バルク特殊ガスシステム (BSGS)、1/2" ユースポイント、工具接続部、ガスキャビネットでの使用に理想的です。

圧力定格
最大入口圧力:150、1000、1500 psig / 10.3、69.0、103 bar
出口圧力レンジ:30、60、100、150、200 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3、13.8 bar
本体材質
316L ステンレス鋼電解研磨または 316L VAR ステンレス鋼電解研磨
ダイヤフラム
Hastelloy®
シート固定具
316ステンレス鋼
ポペット
316 ステンレス鋼または Hastelloy®
バルブシート
Teflon®、Vespel®、PCTFE
残りの部品
316ステンレス鋼
動作温度
Teflon®シート:-40~160°F / -40~71°C
Vespel®シート:-40~350°F / -40~177°C
PCTFEシート:-40~140°F / -40~60°F
ポートサイズとタイプ
1"、3/8"、3/4"、1/2" 管端
1/4"、1/2"、3/4"
雄型固定、雄型スイベル(通常および高流量)、雌型スイベル(通常および高流量)
流量係数
Cv = 1.2
重量(ゲージなし)
1.6 kg (3.5 lb)
追加情報
カスタム修正または完全なシステムソリューションについては、最寄りの営業所にお問い合わせください。

機能

  • 高流量特殊ガス供給用の設計
  • Hastelloy® トリムオプションを選択可能
  • ポジティブ・シャットオフ・シール、連結ダイヤフラム
  • メタルダイヤフラムが本体をシールし、優れたリーク完全性を実現
  • 取り込み型ボンネット

文書と図面