純圧縮ガスの流量測定
純空気、窒素、アルゴン、ヘリウムの非侵入型流量測定
半導体製造における高価な純ガスのモニタリング
半導体製造において、窒素（HP N2）、アルゴン（HP Ar）、ヘリウム（HP He）、クリーンドライエア（CDA）などの高純圧縮ガスが、さまざまなプロセスで非常に重要な役割を果たしています。窒素は一般的に、パージと不活性封入液に使用され、酸化や汚染を防止します。アルゴンは不活性な性質を持ち、正確な材料除去と堆積を保証するため、プラズマエッチングとスパッタリングに不可欠です。優れた熱伝導率を持つヘリウムは、冷却システムや漏れ検出に必須です。クリーンルーム環境では、厳格な品質基準を維持するために、汚染物質のない純粋な空気が使用されます。
これらの高価なガスの流量測定は、一貫したコスト管理、プロセス制御、効率性、安全性を確保するために重要です。正確な流量監視により、正確なガス供給が可能となり、無駄を最小限に抑え、製造プロセスにおける最適なパフォーマンスを確保できます。
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製品ソリューション
Flexim FLUXUS G721 CA 圧縮空気流量計は、非侵入型クランプオン超音波技術で、非常に低い圧力 (鋼管の場合は最大 3 bar、プラスチック管の場合は大気圧) でも圧縮空気の流量を測定するために使用できます。また、流量が極めて少ない場合でも正確に捉えられるため、あるはずのない、非常にわずかな漏れからの、ごく少量の流量を明らかにします。FLUXUS G721 CA は、圧縮空気グリッドの個々のポイントで引き出される非侵入的な数量の測定と、その中の漏れの検出に最適です。
- ペアリング済み、温度補正および追跡可能な校正済みの超音波トランスデューサにより高い精度を実現
- 最低流量から最高流量までの極めてダイナミックな測定
- 供給およびパイプの機能を中断することなく、簡単でコストパフォーマンスに優れた改修を実現
流体タイプ
空気、窒素、酸素、ヘリウム、アルゴン
精度
測定システムの測定の不確実性（体積流量）: ±0.005 m/s（±0.02 ft/s ）で読取値の ±0.3 %
測定ポイントの測定の不確実性（体積流量）: ±0.005 m/s（±0.02 ft/s）で読取値の ±1～2 %
測定ポイントの測定の不確実性（体積流量）: ±0.005 m/s（±0.02 ft/s）で読取値の ±1～2 %
再現性
±0.005 m/s（± 0.02 ft/s）で読取値の 0.15 %
Flexim FLUXUS G601 CA エネルギーは、圧縮空気の流量測定と熱エネルギー量のモニタリング、およびあらゆる種類の液体や気体媒体の流量決定を、たった 1 つの、ポターブル式デバイスで行えるようにした、施設管理（DIN ISO 50001規格に準拠）内でだけでなく、業界内の全エネルギー効率タスクを実行するための理想的なツールです。圧縮空気インフラストラクチャ全体を調査するよう設計されているため、施設のバランスを取り、ほぼすべての脚で測定し、コンプレッサの効率を決定し、そして最後に、漏れを定量化して場所を特定します。3 bar 以上の圧力で DN6 から DN2100 までの内径を測定できます。
- 正確な双方向の、非常に幅広い圧縮空気、気体、液体、熱エネルギー流量のための非侵入型測定
- 内径 DN6 ～ DN2100（液体の場合 DN6000）、および圧力 3 bar 以上（大気圧以下のプラスチック管の場合）に最適
- 2 つの流路、複数の入力/出力、シリアルインターフェース付きの統合データロガーを備えたポータブルで使いやすい流量トランスミッタ
精度
測定システムの測定の不確定性（体積流量）: ± 0.3 % MW. ± 0.005 m/s
測定点における測定の不確定性（体積流量）: ± 1...2 % MW. ± 0.005 m/s
測定点における測定の不確定性（体積流量）: ± 1...2 % MW. ± 0.005 m/s
再現性
0.15% MW. ± 0.005 m/s
範囲
流量範囲: 液体の場合、0.03 ... 75 ft/s
気体の場合、0.03 ... >100 ft/s（配管サイズによって異なる）
気体の場合、0.03 ... >100 ft/s（配管サイズによって異なる）
Flexim FLUXUS G532 圧縮空気超音波流量計は、圧縮空気および工業ガスの数量測定のために特別に設計されています。統合標準体積流量計算機能を備えたコンパクトな圧縮空気流量計で、温度および圧力センサからのオンライン測定データも処理可能です。実績のある伝送時間差法は、特に圧縮空気、および 0.03 ft/s 程度の低流速が検知される工業ガスに大きなメリットがあります。測定は常に双方向で、湿気、油、または汚れ粒子の影響を受けません。FLUXUS G532 CAは、USB および LAN インターフェースを提供し、Modbus TCP、Modbus RTU、BACnet MS/TP、BACnet IP および M-Bus 共通の通信インターフェースで作動します。
Flexim FLUXUS G731 CA 圧縮空気流量計は、非常に低い圧力 (鋼管の場合は最大 3 bar、プラスチック管の場合は大気圧) でも圧縮空気の流量を測定するために適用できるという点で、非侵入型クランプオン超音波技術を誇ります。また、流量が極めて少ない場合でも正確に捉えられるため、ごく少量の漏れも明らかにします。FLUXUS G731 CA は、圧縮空気グリッドの個々のポイントで引き出される非侵入的な数量の測定と、その中の漏れの検出に最適です。
